干涉儀 ：根據光的干涉原理制成的種儀器。將來自個光源的兩個光束分并，各自經過不同的光程，然后再經過合并，可顯出干涉條紋。在光譜學中，應用的邁克爾遜干涉儀可以準確而詳細地測定譜線的波長及其細結構。

維護

1、儀器應妥善地放在干燥、清潔的房間內，防止振動，儀器搬動 時，應托住底座，以防導軌變形。

2、光學零件不用時，應存放在清潔的干燥盆內，以防止發霉。反光鏡、分光鏡般不允許擦拭，擦拭時，須用備件毛刷小心撣去灰塵，再用脫脂清潔棉花滴上酒和混合液輕拭。

3、傳動件應有良好的潤滑。別是導軌、絲桿、螺母與軸孔分，應用T5儀表油潤滑。

4、使用時，各調整位用力要適當，不要強旋、硬扳。

5、導軌面絲桿應防止劃傷、銹蝕，用畢后，仍保持不失油狀態。

6、 經過調整的儀器件上的螺絲，都涂有紅漆，不要擅自轉動。

應用

（1）幾何度檢測 可用于檢測直線度、垂直度、俯仰與偏擺、平面度、平行度等。

（2）位置度的檢測及其自動補償 可檢測數控機床定位度、重復定位度、微量位移度等。利用雷尼紹ML10激光干涉儀不僅能自動測量機器的誤差，而且還能通過RS232接口自動對其線性誤差行補償，比通常的補償方法節省了大量時間，并且避免了手計算和手動數控鍵入而引起的操作者誤差，同時可zui大限度地選用被測軸上的補償點數，使機床達到*度，另外操作者具有機床參數及補償方法的知識。

目前，可供選擇的補償軟件有Fanuc,Siemens 800系列，UNM，Mazak,Mitsubishi,Cincinnati Acramatic,Heidenhain, Bosch, Allen-Bradley。

（3）數控轉臺分度度的檢測及其自動補償 現在，利用ML10激光干涉儀加上RX10轉臺基準還能行回轉軸的自動測量。它可對意角度位置，以意角度間隔行自動測量，其度達±1。新的際標準已使用該項新。它比傳統用自準直儀和多面體的方法不僅節約了大量的測量時間，而且還得到整的回轉軸度曲線，知曉其度的每細節，并給出按相關標準處理的統計結果。

（4）雙軸定位度的檢測及其自動補償 雷尼紹雙激光干涉儀系統可同步測量大型龍門移動式數控機床，由雙伺服驅動某軸向運動的定位度，而且還能通過RS232接口，自動對兩軸線性誤差分別行補償。

（5）數控機床動態性能檢測 利用RENISHAW動態性測量與評估軟件，可用激光干涉儀行機床振動測試與分析（FFT），滾珠絲杠的動態性分析，伺服驅動系統的響應性分析，導軌的動態性（低速爬行）分析等